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靜電卡盤表面反應區的溫度對穩定工藝至關重要，電子式溫度傳感器的測溫穩定性和精度容易受電磁干擾。刻蝕機反應區存在較強射頻場，射頻場的磁場干擾會影響電子式溫度傳感器的穩定性，進而對靜電卡盤的溫度控制帶來不穩定性。熒光溫度傳感器是使用稀土熒光物質的光學物性來測量溫度的光學測溫方式，性能不受電磁干擾，結構無導體，還可使用非接觸測量，測量手段本身不傳導熱量，不影響熱控。