靜電卡盤表面反應區的溫度對穩定工藝至關重要，電子式溫度傳感器的測溫穩定性和精度容易受電磁干擾。刻蝕機反應區存在較強射頻場，射頻場的磁場干擾會影響電子式溫度傳感器的穩定性，進而對靜電卡盤的溫度控制帶來不穩定性。熒光溫度傳感器是使用稀土熒光物質的光學物性來測量溫度的光學測溫方式，性能不受電磁干擾，結構無導體，還可使用非接觸測量，測量手段本身不傳導熱量，不影響熱控。
熒光光纖測溫技術，是基于光致發光現象，使用特殊的熒光材料，通過檢測熒光壽命與溫度變化的對應關系，來測得所需要的溫度值。利用熒光物質被激發后發光特性與溫度線性相關的特性，使用寬譜光做為激發媒介，光纖做為傳導介質，將熒光物質與光纖封裝為一體而制成。傳感器感溫物質使用金屬封裝，重復性好，精度高，響應快，壽命長，可應用于對壽命及抗干擾有嚴格要求的領域。
實時監測刻蝕機靜電卡盤熱點溫度
有效評估刻蝕機運行狀態，增強系統可靠性與穩定。
長期在線監測刻蝕機溫度變化趨勢
Tmeas Log溫度記錄系統是針對需要持續采集溫度測溫場景開發的 PC 端溫度數據采集系統，能夠根據測溫場溫度變化構建溫度變化分析趨勢曲線，實施事前管理和風險預測。
實時監測設備運行狀態和進行故障分析
獨有自診斷功能，通過內部光電信號檢測和算法，可有效識別光纖傳感器故障類型，防止誤報、錯報等現象的發生。
提供動態、實時、可靠的溫度信息
利用附在光纖終端對溫度敏感的磷光材料來進行溫度測量，測溫性不受電磁干擾。
測溫范圍 | -20℃~70℃ |
測溫精度 | ±0.3℃ |
測溫分辨率 | 0.05℃ |
測溫通道數 | 1 |
響應時間 | ≤150ms |
溫度單位 | ℃ |
供電 | DC 24V（輸入電壓范圍DC 12-24V） |
運行溫度 | -20-55℃ |
存貯溫度 | -40-80℃ |
存儲相對濕度 | 20%-80%（無凝結） |
| 設備功耗 | 500mW |
| 結構尺寸 | 104*81.2*53（長*寬*高 單位mm） |
| 通訊協議 | 標準Modbus RTU協議 |
| 通訊接口 | RS 485 |
| 設備接口 | DB15插針接口 |
| 設備重量 | ≤250g |
| 電源輸入 | DC 24V（輸入電壓范圍DC 12-24V） |
| 光纖連接器類型 | FC |
| 最小彎曲半徑 | 50mm |
| 長度要求 | 1.5m |
| 光纜耐受溫度 | -40℃～80℃ |
熒光溫度傳感器屬于全光測量裝置
只有光信號沒有電信號，屬于是真正的無源探頭。
對電磁干擾本質免疫
利用附在光纖終端對溫度敏感的磷光材料來進行溫度測量，測溫性不受電磁干擾。
測溫周期短，實時性高
測溫周期小于1秒，可充分保證溫度數據的可靠性。
具備自診斷功能，安全可靠
通過內部光電信號檢測和算法，可有效識別光纖傳感器故障類型，防止誤報、錯報等現象的發生。
解調儀和光纖溫度探頭交換使用，無需標定
不存在熱電偶的溫度漂移，不需要紅外溫度傳感器表面發射率修正等。
● 蝕刻機熱點光纖溫度在線監測
● 沉積設備熱點光纖溫度在線監測
| 設備名稱 | 型號 | 數量 | 備注 |
| 熒光光纖溫度傳感器 | SSA7 | 1 | 標準長度：1.5m（特殊長度可定制） |
| 高精度熒光光纖溫度解調儀 | FAS1 | 1 | 標準通道數：1 |
| 系統軟件 | Tmeas LOG | 1 | 選配 |
